Акселерометры переменной емкости (VC– от англ. variable capacitance) представляют собой уникальные датчики, имеющие внутри конденсатор с параллельным расположением обкладок. Емкостные акселерометры являются датчиками, чувствительными к постоянной составляющей, что делает их идеальными для измерения перемещения, воздействий большой длительности и низкочастотной вибрации. Акселерометр позволяет измерять широкий диапазон ускорений. Он оборудован защитной конструкцией, которая гарантирует его устойчивость к соударениям. Широкая полоса частот (0- 5 000 Гц) в сочетании с прочностью, низким потреблением и исключительно высокой стабильностью гарантируют непревзойденную надежность датчика. Внутри датчика имеется газовый демпфер и ограничитель, что позволяет измерять ударное воздействие до 200 000 g и постоянное ускорение. Пьезорезистивные акселерометры изготовляются по технологии MEMS. Их электрическое сопротивление изменяется пропорционально механическому напряжению, приложенному к установленной на пружинах подвижной массе, позволяя создавать выходной сигнал. Такие акселерометры оборудованы механическими стопорами и обладают непревзойденной жесткостью. При работе в мостовом включении они способны обеспечить исключительно высокое отношение сигнал/шум. Акселерометры этого типа имеют начинающуюся от нуля частотную характеристику, что позволяет измерять постоянные ускорения. Они идеальны для измерения перемещения, динамически изменяющейся низкочастотной вибрации, а также соударений малой амплитуды и большой длительности.
Зарядовые акселерометры представляют собой датчики, не требующие внешнего питания. Усилие, прикладываемое к пьезоэлектрическому элементу, приводит к образованию заряда на его обкладках, пропорционального ускорению. Датчики этой серии способны работать при экстремально высоких температурах, однако их высокое выходное сопротивление требует наличия кабелей с низким уровнем шумов и зарядовых усилителей, необходимых для формирования сигнала. Выходная чувствительность обладает долговременной стабильностью. Коаксиальный кабель с низким уровнем шума обеспечивает работу без помех. Специальное покрытие поверхности обеспечивает устойчивость к коррозии и окислению.
Типы зарядовых акселерометров:
Одноосевые общего назначения: E501, E503, E504, E521, E524.
Трехосевые общего назначения: Е523, Е528.
Миниатюрные: E526, E529, E621, E622.
Промышленные (с дифференциальным выходом, с расширенным температурным диапазоном (от минус 200 до плюс 649 градусов, радиационностойкие):Е522, Е533, Е540, Е571, Е573, Е576.
Акселерометры со встроенной электроникой (IEPE – от англ. Integrated Electronic Piezoelectric) – это класс пьезоэлектрических акселерометров со встроенным электронным усилителем. Два контакта коаксиального разъема таких акселерометров служат одновременно как для передачи выходного сигнала, так и для питания. Такие устройства также хорошо известны под запатентованной маркой ICP (IntegratedCircuitPiezoelectric– Пьезоэлектрика со встроенной микросхемой).
По сравнению с более ранними датчиками, подключение которых требовало внешнего усилителя заряда, работа с устройствами IEPE, имеющими встроенную электронику и единственный коаксиальный кабель, дает ряд преимуществ, а именно: небольшой размер датчиков, небольшая масса, высокая надежность и низкая стоимость кабельной системы. С интерфейсом IEPE изготавливаются также микрофоны и другие датчики вибрации.
Типы IEPE акселерометров:
Одноосевые: Е210 и Е260 (выход 4-20мА), Е251, Е280, Е285, Е286.
